电磁阀芯检原因方法及操作

    一、电磁阀阀芯检漏原因:

    由于半导体工业上用的气体如硅烷(SiH4),氨气(NH3)等等都是有毒或有腐蚀性的气体,所以对所用的阀及相关部件,漏率要求非常严格,要求成品*终漏率低于5-10mbarl/s,而这样的漏率要求也只有氦质谱检漏仪能达到了.

    二、电磁阀阀芯检漏方法

    大概的检测过程为:来料用放大镜目视检测,激光焊接完成后再目视检测,*后用氦气质谱检漏仪做*后检测,漏率值以氦气检漏仪测出的数据为准.

    客户以前用的是日本某品牌的检漏仪,现在新上的项目都改为德国Pfeiffer的HLT560这一款检漏仪,这是因为,只有德国Pfeiffer的HLT560能满足这么高的漏率值测试,且数据可靠.另外还具有操作简单,生产效率高的优点.

    三、电磁阀阀芯检漏操作说明

    1),先将阀接入工装,形成一个密闭的腔体.再将检漏仪连接到工装上.

    2),启动氦质谱检漏仪,检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时显示一个漏率值.

    3),在激光焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气,同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.

    4),如果漏率值上升,说明喷氦气的地方有漏,该被检对象质量不合格.如果漏率值能达到要求,该被检对象合格,检漏检测完成.